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设备特点：
叠堆设计**可配置12个腔室
上下层传送系统提供多达350wph的吞吐量
可配置可正背面清洗，药液种类多达5种，可回收2种药液
腔体可配备二流体雾化喷嘴
腔室可将化学飞溅降至*低，确保腔体清洁晶圆加工环境
腔体超洁净空气动态平衡均一性好
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