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多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统(CVD)是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术,主要借助微波或射频的方法将目标气体进行电离,促进化学反应在较低的温度下进行,从而在基片上沉积出所期望的薄膜。
目前项目团队自主研发的CVD设备可在多种衬底上(如金属、氧化物、半导体表面)直接生长以石墨烯为代表的各类新型二维材料,用于新材料、新器件的研发。工艺简单廉价,且具有传统半导体生长工艺的兼容性。











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液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)是当前社会中应用非常多的显示器,在日常生活中随处可见。LCD主要由彩色滤光片基板(Color filter,CF)、TFT阵列(TF
2025-07-02
 
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2025-07-03
 
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2025-07-03
 
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