参考价格
面议型号
BTF-1200C-RTP-CVD品牌
产地
安徽合肥样本
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一、设备简介
该款设备是由单端封口红外滑轨炉、 高真空机组、供气系统及操作控制界面组成,内控热电偶用于控制RTP炉内的温度,出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取,进气口除用于通入保护气体或反应气体外,还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温,以此获得较高的降温速率。
二、技术参数
加热系统  | |
额定电压  | AC 220V 50/60Hz  | 
额定功率  | 20KW  | 
使用温度  | 1200℃  | 
额定温度  | 1000℃  | 
稳定状态温度范围  | 100~1000℃  | 
加热区长度  | 230mm  | 
恒温区长度  | 120mm  | 
温度控制重复性  | ±3℃  | 
温度控制精确度  | ±0.1℃  | 
升温速率  | ≤50℃/s  | 
控温方式  | 内控温  | 
温度过冲  | ≤3℃  | 
炉管尺寸  | 高纯石英管Φ90*400*R45mm  | 
控温方式  | 智能化PLC控制,具有超温和断偶报警功能  | 
真空机组主要参数  | |
空气相对湿度  | ≤85%  | 
工作电压  | 220V±10% 50~60Hz  | 
抽气速率  | 165L/min  | 
实验真空度  | 5.0x10-1Pa(空载、冷态)  | 
容油量  | 1.1L  | 
进气口口径  | KF25  | 
排气口口径  | KF25  | 
供气系统主要参数  | |
连接头类型  | 双卡套不锈钢接头  | 
标准量程(N2)  | 200sccm、500sccm  | 
准确度  | ±1.5%  | 
线性  | ±0.5~1.5%  | 
重复精度  | ±0.2%  | 
响应时间  | 气特性 1~4Sec,电特性 10Sec  | 
工作压差范围  | 0.1~0.5MPa  | 
压力  | ≤3MPa  | 
接口  | Φ6,1/4”  | 
显示  | 液晶屏显示  | 
工作环境温度  | 5~45高纯气体  | 
内外双抛不锈钢管  | Φ6  | 
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