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石英载盘基板JSG2
介绍：JSG2是一种天然或合成的石英材料，具有优异的热稳定性、化学惰性和低热膨胀系数。
石英载盘基板 | ||||||
材质 | 石英玻璃JGS2 | |||||
直径 | 50.8mm | 100mm | 101.4mm | 150mm | 159mm | 200mm |
厚度 | 500μm | 500μm | 500μm | 1000μm | 1000μm | 1000μm |
定位边 | 16mm | 32.5mm | N/A | 47.5mm | N/A | Notch |
表面光洁度 | S/D 20/10 60/40 80/50 | |||||
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