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定制-超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统品牌
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超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统
Description :
●UHV 多腔体:Ion Sources, Thermal/E-Beam Evaporator,Sputter .E-Beam... etc.,
●基板:多片/单片Max 8 Inch,5x5 cm,10x10cm或其他尺寸
●单片，多片承载装置Cassettes,可程式自动选择及传输
●真空度:UHV 10-9 Torr
●自动传输，自动制程设定...etc.,
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