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溅镀系统
Description:
●专为研发和试运行而设计
●多功能性、操作简便性和长期可靠性，用
●于单层和多层溅射
●可实现<+/-3%的均匀沉积
●溅射枪具有可变可变伸缩(阴极到基底的离)的溅射枪和灵活的接头，实现可变入射角
●配备APC，可快速准确地实时控制溅射压力
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