磁控溅射设备的主要用途：1.功能性薄膜：具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜；2.装饰领域：各种全反射膜及半透明膜等；3.微电子领域：在微电子领域作为一种非热式镀膜技术，主要应用在化学气相沉积

什么是钙钛矿钙钛矿（perovskite），这个有点拗口的名字取自俄罗斯矿物学家Perovski，作为光伏材料的钙钛矿，实际上和钙、钛、矿三个字都没太大关系，这是一类与钙钛矿（CaTiO3）晶体结构类

热丝CVD采用高温下的低压气相反应，碳氢化合物在高温下发生化学反应，生成膜先驱物，当样品温度合适时，这些膜先驱物在样品表面沉积形成金刚砂膜。低压化学气相沉积形成的膜层厚度及成分较为均匀，膜层致密。CV

CVD(化学气相沉积)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说，它是很简单的:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，

有人曾这样形容磁控溅射技术——就像往平静的湖水里投入了石子溅起水花。磁控溅射真空镀膜技术是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition）的一种，其原理是：用带电粒子加速轰击靶材表面

近年来，新型太阳能电池技术不断发展，钙钛矿电池作为其中的代表之一，一度成为人们关注的热点。钙钛矿电池以其良好的光电转化效果、简单的制备工艺和原材料的充足性，被誉为是下一代光伏电池的主流技术之一。近日，