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高真空磁控溅射镀膜设备JCPY500品牌
北京泰科诺产地
北京样本
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设备型号:JCPY500
真空腔室结构:后置抽气系统
真空腔室尺寸:Φ500mm×H450mm带 Load-Lock 功能 支持单片或多片进取样
加热温度 :室温~ 500℃
基片台尺寸:Φ150mm
膜厚不均匀性 :Φ100mm 范围内≤ ±5.0%
溅射靶 :Φ3、Φ4 英寸磁控靶 2-4 支(可选)
工艺气体 :3 路气体流量控制
控制方式 : PLC/PC(可选)
占地面积 (主机) :L1800mm×W800mm×H1845mm
总功率 :≥ 15kW
大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备
1. 可提供工艺技术支持,及良好售后服务;
2. 设备结构紧凑,占地面积小,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;
3. 单靶溅射 / 多靶依次溅射或共同溅射,兼容 DC/MF/RF 溅射等功能 。
4. 可制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀摸、透明导电膜,如钙钛矿空穴传输层、金属电极以及透明导电层ITO膜层的制备等”;
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