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基本规格 | · 尺寸： 2.99 米（长）x1.42 米（宽）x1.98 米（高）· 重量：8 吨 |
设备构成 | · Loading Port（2sets）· 刚性主轴（2sets）· Chuck table（3sets）· 背膜清洗单元· 搬送单元（Robot） |
**加工尺寸 | · φ 200mm（同时兼容4”、6”、8”） |
加工方式 | · 干进，干出 |
加工能力 | · 同时高效加工2 片 |
生产能力 | · ≥ 6 wafers /h |
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