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| 产品型号 | 晶圆边缘检测设备-EDI |
| 应用场景 | 成型、抛光 |
| 检测缺陷 | 崩边、裂纹、划伤等边缘缺陷 |
| 检测精度 | 边缘：1.25μm |
| 产能 | 85 WPH@300mm |
| 产品特点 | 缺陷分布、不良分类、ADC |
| 晶圆直径 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
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