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| 产品型号 | 晶圆铜雾离子检测设备-HD |
| 应用场景 | QC Lab |
| 检测缺陷 | 判断晶圆COP 缺陷，辅助晶棒品质分析 |
| 检测精度 | ±1mm |
| 产能 | COP 分布快速分析成像 |
| 产品特点 | COP 分布快速分析成像 |
| 晶圆直径 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
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