非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
其他温控精度：
±0.5℃最高温度：
1050℃额定温度：
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主要特点
◆产能:2200~2880pcs/管
◆管数:6管
◆压力控制:APC控制方式
◆系统控制:PLC和PC工控机
◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案
工艺规范
◆方阻值:50~350 Ω/cmsq
◆极限真空:≤20mbar
◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)
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