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超大规模集成电路制造设备，工艺时间短，生产效率高，具有出色的工艺性能达到**。
应用领域
◎ VLSI集成电路制造
产品优势
◎晶片(片/批次)150片
◎ 晶片高速搬送系统，实现高吞吐量
◎ 精密的热场控制，气体控制系统
◎ 工艺周期短，生产效率高
外形尺寸及重量
◎ 外形尺寸(参考):4330mm*900mm*3305 mm(长*宽*高)
◎ 重量:2500Kg
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