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名称 | 导片机 |
作业模式 | Boat to cassette & cassette to boat |
适用工艺 | Wafer存储需要在不同载具之间切换 |
对应产品 | 4~8inch |
高温场景 | 可对应 |
产品检查 | 可定制 |
信息管理 | 满足 |
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