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产品优势：
（1）独特的双轴支撑结构，降低了磨削单元间的振动和变形的相互干扰，有效提升设备的稳定性和加工质量的一致性
（2）多参数传感器测量系统，实时采集传输并分析处理设备运转参数，增强设备故障预测性维护
（3）全流程自动化加工系统，实现多装置的高度集成，多功能兼容，降低人工干预，提升加工效率与安全性
产品特点：
（1）结构紧凑，轻量化设计
（2）优异的结构刚性
（3）灵活配置，广泛应用性
（4）软件定制化，人性化操作界面
（5）持久耐用，安全无忧
| 项目 | 技术参数 |
| 型号 | CMG200 |
| 加工材料 | SiC, Si, GaN等硬脆材料 |
| 加工晶圆尺寸 | 4/6/8英寸 |
| 砂轮直径 | 313mm |
| 可加工**厚度 | 60mm |
| 磨削主轴转速 | 6000rpm |
| 磨削主轴功率 | 13KW |
| 片内厚度偏差TTV | 1.5μm |
| 表面粗糙度Ra | 3nm |
| 自动装夹装置 | 可选配 |
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