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设备性能指标 | ||
1 | 操作方式 | 手动 |
2 | 管路数 | 1管 |
3 | 加工晶圆尺寸 | 4-6寸 |
4 | 适用工艺 | VGF/VB 工艺 |
5 | 控温精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒温区内 |
6 | 控温模式 | Spike控温+Profile串级控温 |
7 | 控制系统结构 | 一体工控机+PLC |
8 | 报警保护: | 具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能 |
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