非金属电热元件：
其他金属电热元件：
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真空温控精度：
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设备性能指标 | ||
1 | 工位数 | 1-2管（可依据实际生产工艺设计） |
2 | 额定温度 | 900℃ |
3 | 工艺温度 | 500℃-800℃ |
4 | 加热温区段 | 3-5段独立控温，（可依据实际生产工艺设计） |
5 | 系统极限真空度 | ≤5*10-4Pa |
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