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设备性能指标 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路数 | 1管 |
3 | 加工晶圆尺寸 | 6-12寸 |
4 | 适用工艺 | 扩散（镓扩）、玻璃钝化（GPP）、退火、合金 |
5 | 温度校准功能 | 具有自动校准温区功能，具有预先写入偏差值快速拉温区功能（选配） |
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