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2）控制精度
a)靶材旋转：0.005°
b)工件旋转: <1000RPM
c)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/rev
d)膜厚修正板：0.005°
e)挡板: position switch
3）光学监控系统OMS
a) 波长范围：380nm～1650nm
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