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型号:IBSV-1030 特点: a)基板垂直放置,水平监控; b)转靶左右可调,保证靶面中心和离子源**距离; c)基板:12吋×1 ; d)靶材:两靶或三靶可更换; e)多光路监控。 f)工件夹具:12吋 |
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