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LD-200A紧凑型原子层沉积设备品牌
泽鸿半导体产地
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紧凑型原子层沉积设备，用于基板表面沉积各种薄膜(氧化铝，氧化硅等)，满足2-8inch 科研、生产工艺需求。
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