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ED-1500D高真空蒸发镀膜设备品牌
泽鸿半导体产地
江苏样本
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设备概述
批次生产型高真空蒸发镀膜设备，用于在基板表面沉积各种金属薄膜(Ti\Ni\Ag\Cr\A|等)满足 2-12inch Wafer 生产需求，适合大批量金属沉积工艺或者 Lift off 工艺。
技术特点
双冷泵配置，快速高效排气，超大腔体设计，大产能优势，低材料消耗，低成本生产。
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