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特性 | 石英 JGS1 | 石英 JGS2 | TGV工艺石英 | 高硼硅玻璃 BF33 |
材料类型 | 220nm - 2500nm | 中等纯度石英（天然或合成） | 高纯度石英（可能为合成或熔融石英） | 高硼硅玻璃（含硼氧化物） |
主要成分 | SiO₂（>99.99%） | SiO₂（>99.9%） | SiO₂（>99.9%） | SiO₂（约81%）、B₂O₃（约13%） |
羟基含量 | 高（约1000 ppm） | 低（约200 ppm） | 低（通常<10 ppm） | 低（<10 ppm） |
热膨胀系数 | 0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀） | 0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀） | 热膨胀系数低 | 3.25 × 10⁻⁶ /K（低膨胀） |
耐热性 | 极高（软化点约1700°C） | 极高（软化点约1700°C） | 极高，耐高温 | 较高（软化点约820°C） |
透光范围 | 185 nm - 2500 nm | 220 nm - 2500 nm | 185nm - 2500nm | 300 nm - 2500 nm |
紫外透光性 | 优异（185 nm起透光率高） | 较差（220 nm以下透光率低） | 优异（耐酸碱腐蚀） | 较差（300 nm以下透光率低） |
红外透光性 | 较差（2.7 μm处受羟基吸收影响） | 较好（2.7 μm处透光率较高） | 优异（2.7 μm处透光率较高） | 良好（2.7 μm处透光率较高） |
化学稳定性 | 优异（耐强酸强碱） | 优异（耐强酸强碱） | 优异（耐强酸强碱） | 良好（耐酸碱，但弱于石英） |
机械强度 | 高 | 高 | 高 | 高 |
主要应用 | 紫外光学、激光器、半导体 | 可见光/红外光学、激光器窗口 | 三维封装、MEMS、光电子器件 | 光学窗口、实验室器皿、显示屏 |
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石英光学窗口 | ||||||
材质 | 石英玻璃JGS1 | |||||
直径 | 50.8mm | 100mm | 150mm | 200mm | 80*80 mm | 152*152 mm |
厚度 | 500μm | 500μm | 1000μm | 1000μm | 1000μm | 2000μm |
定位边 | 16mm | 32.5mm | 47.5mm | Notch | N/A | N/A |
表面光洁度 | S/D 20/10 60/40 80/50 | |||||
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