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蓝宝石基氮化镓外延衬底Tempalte（2~8inch） | ||||
衬底直径 | 50.8mm | 100mm | 150mm | 200mm |
蓝宝石衬底厚度 | 430μm | 650μm | 1000μm | 1600μm |
蓝宝石衬底表面 | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS | FSS/PSS/NPSS |
蓝宝石衬底晶向 | C-Plane | |||
外延导电类型 | N-type | P-type | UID | |
外延掺杂元素 | Si-doping | Mg-doping | Undoped | |
外延层厚度 | 厚膜：3~5 μm ；薄膜：0.1~1 μm | |||
外延层厚度均匀性 | ≤5% | |||
外延层表面状态 | RMS＜2nm | |||
外延结构图 |
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