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第1年
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设备性能指标
1
操作方式
立式
2
管路数
1管
3
加工晶圆尺寸
6-12寸
4
适用工艺
扩散(镓扩)、玻璃钝化(GPP)、退火、合金
5
温度校准功能
具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能(选配)
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产品质量
售后服务
易用性
性价比
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