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设备性能指标 | ||
1 | 操作方式 | 根据客户操作可定左/右手操作 |
2 | 管路数 | 1-4管 |
3 | 加工晶圆尺寸 | 4-8寸 |
4 | 适用工艺 | 扩散（镓扩）、玻璃钝化（GPP）、退火、合金 |
5 | 温度校准功能 | 具有自动校准温区功能，具有预先写入偏差值快速拉温区功能（选配） |
6 | 控温模式 | Spike控温+Profile串级控温 |
7 | 控制系统结构 | 一体工控机+PLC |
8 | 系统极限真空度 | ＜10Pa |
9 | 工作压力范围 | 100Pa-10Pa可调 |
10 | 报警保护 | 具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能 |
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