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产品介绍：
放置 36 片4时蓝宝石衬底，用于生长LED 用蓝绿光外延片
适用机型：
PRISMO A7
产品参数：
基材：等静压石墨(纯度>6N)
涂层：B-SiC(厚度=110±10 μm)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强使用
寿命：>300Run
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放置 36 片4时蓝宝石衬底，用于生长LED 用蓝绿光外延片
产品参数：
基材：等静压石墨(纯度>6N)
涂层：B-SiC(厚度=110±10 μm)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强使用
寿命：>300Run
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适用机型：
PRISMO A7
产品参数：
基材：等静压石墨(纯度>6N)
涂层：B-SiC(厚度=110±10 μm)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强使用
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