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主要特点
电感加热式物理气相传输SiC生长炉
双壁水冷石英管
2英寸，100mm或150mm晶圆工艺
高温计控制和电源控制，保证生长炉稳定运行
自动PLC控制、带工艺、触屏、安全互锁/警报等功能
远程监测和控制
占地空间*小的SiC生长炉
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