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碳膜去除设备 NE-550EX品牌
万德思诺产地
天津样本
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产品图片:
产品型号:
NE-550EX
产品介绍:
1. Various process experience
- Carbon for capping, SiC Trench, SiC VIA, SiC Mesa, etc.
2. Smooth surface and anisotropy etching
- Adopting ISM (Inductively Super Magnetron) source
3. System line-up
- NE-550 (1L/UL + 1 Process for carbon etching)
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