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纯化系列 | 脱除杂质ppb | |||||||
气体 | 型号 | 纯化工艺 | H2O | CO2 | 挥发性酸VA | 挥发性碱VB | 耐熔化合物RC | 总有机碳TOC |
XCDA | PX | 吸附 (Absorb) | <0.1 ppb | － | <10ppt | <10ppt | <10ppt | <10ppt |
应用领域：
纯化用于半导体应用的XCDA
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