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指标表
典型应用
应用于半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
气体行业
工艺介绍
PH7-H：通过吸附工序，脱除气体中的O2、H2O、CO2等杂质，通过吸气柱脱除N2、CH4；
PH7-H-A: 通过吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO 等杂质；
吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用；
PH-L: 通过低温吸附工序，深度脱出气体中的N2、Ar、O2、H2O、CO、CO2等杂质。
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