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纯化系列 | 脱除杂质ppb | ||||||||
气体 | 型号 | 纯化工艺 | O2 | H2O | CO2 | NMHC | |||
NH3 | PNH | 吸附 (Absorb) | <1 ppb | <1 ppb | <1 ppb | <1 ppb | |||
应用领域：
纯化用于半导体、LED应用的氨气
工艺介绍：
PH21氨气纯化器通过吸附工序，采用双吸附容器，深度脱除工艺气体中的O2、H2O、CO2、NMHC，纯化和再生模式交替进行，提供对工艺气的连续纯化。
PH21系列氨气纯化系统通过现场原位再生和先进的技术，以高可靠性、低成本及高性能，有效的脱除NH3中的污染杂质，满足客户现场需求
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