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版本：
| 版本 | 工艺气体 | 羽流长度 | 羽流直径 |
| V1.0 | Ar、O2、压缩空气 | 5mm | 0.9mm |
| V2.0 | Ar、O2、压缩空气 | 5mm | 1mm |
| 宽幅 | Ar、O2、压缩空气 |
无电极，无污染源，长寿命；
等离子体不带电，不会对精密电路造成损坏；
能在高气压下维持等离子体；
有较高的电离和分解程度；
自偏压要求低；
微波发生器稳定，易控制；高压源和发生器互相隔离，安全；
半导体晶圆和集成电路制造（前、后道工序）中的等离子清洗设备
LCD显示屏的制造设备
太阳能电池生产的制造设备
各种无机材料，高分子材料，玻璃，金属等的等离子清洗设备
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