有效物质含量:
-执行质量标准:
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-品级:
合格品外观:
液体
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本产品主要用于碳化硅晶片等的精磨抛光。
(1)产品搭配专门的碳化硅精磨垫使用达到高去除率,提升效率;
(2)精磨加工后的碳化硅晶片表面质量高(粗糙度,划伤,亚表面损伤层等参数);
(3)水溶性载体配方,具有较好清洗性能;
(4)产品的悬浮稳定性好;
(5)产品相较于常规的水基配方,润滑性能更优。
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