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一、产品概述:
分子束外延(MBE)法是生产砷化镓外延片的方法之一,该法可制出多元、多层、同质、异质、超晶格和量子阱等结构的外延材料。晶体纯度高,化学稳定性好。
二、主要特点:
1. 可制作大规格坩埚(**直径12inch,**高度17inch);
2. 密度高(**可达2.2g/cm3);
3. 纯度高(>99.99%);
4.不易开裂(层间强度高)。
三、产品应用:
主要用于MBE法合成半导体单晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物。
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