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公斤级粉末原子层沉积镀膜系统
详情介绍：
KG 系列粉末ALD包覆设备可用于电池、催化剂、磁性材料等材料的高精度包覆量产。
该系统能够包覆原子层级到纳米层级的范围内的厚度，具有超高灵敏度、均一性和重复性， 并具有高自动化程度，操作方便、扩展灵活。
技术参数：
均一性 < 3%
工艺温度 RT-300℃
极限压力 < 500mTorr
罐体容积近60L，百公斤级别/批次
1、样品装载量最大每批次可达百公斤，大幅降低生产制造成本；
2、立式提料分散，配合底部进气方案，保证粉体与前驱体充分接触，有效提高包覆均匀性和高覆盖率；
3、可提升量子点、锂电池、催化剂等的循环寿命、安全性以及耐温耐压性。
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