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晶圆尺寸:6/8英寸
Nafer size: 6/8 inches ウェハーサイズ:６インチ～８インチ
温度范围:温度200-800℃，温度均匀性±3℃
Temperature 200-800 °Ｃ, temperature uniformity±3 °Ｃ
温度範囲：温度200-８００°Ｃ、許容温度範囲±2℃
压力:**20000N，力均匀性＜±1%
Pressure Maximum 20,000 N,Force Uniformity<±1%
圧力：**２0000Ｎ、力の均等性＜±1%
真空度:≤10Pa
Vacuum pressure:≤10Pa 真空度:≤10Pa
压头:柔性压头/硬性压头
Indenter: Flexible indenter/rigid indenter
圧子：軟性圧子/硬性圧子
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