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| 大口径元件散射缺陷检测仪 | ||
| 型号 | LSDI-2000-LA | LSDI-3000-C |
| 检测方式 | 全自动 | 全自动 |
| 检测灵敏度 | ≤200nm | ≤500nm |
| 样品类型 | 平面 | 球面、非球面 |
| 样品尺寸 | ≤500mm x 500mm x 80mm ( L x W x H ) | |
注：可以根据客户需求提供同类定制仪器和相关测试的解决方案
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