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产品介绍
铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN)，是用于铌酸锂、钽酸锂等衬底晶圆的缺陷检测设备，可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工艺类型，可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷，对晶圆的质量控制具有重要作用。
铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN)集成明场、暗场等多种检测模式，对各类缺陷提供可靠的缺陷信息，结合缺陷自动检测与分类算法，提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各顶缺陷数据，生成晶圆缺陷检测报告，供用户进行质量评估和判定。
| 铌(钽)酸锂缺陷检测设备 | |
| 型号 | NOVA-2000-LN/LT |
| 晶圆类型 | 铌(钽)酸锂抛光衬底，黑化、半黑化、全透明等 |
| 晶圆尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
检测方式 | 明场、暗场 |
| 产率 | ≥20WPH(@6英寸晶圆，分辨率1μm) |
| ≥12WPH(@8英寸晶圆，分辨率1μm) | |
| 自动化 | 2 LoadPort |
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