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• 基材：等静压石墨（厚度>0.5 mm） | • 涂层：TaC（厚度<300 μm） |
晶圆制造
• 单晶生长 | • 外延 |
• 精密加工（石墨） | • 低压化学气相沉积（LPCVD） |
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