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1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。
2、采用外置大酸槽制冷循环到小酸槽的结构,可腐蚀开沟4“,5”,6“硅片。
3、全自动运行设计,操作方便安全。
4、温控能力RT~-20°C,温控精度±1°C。
5、制冷盘管**设计,长时间使用不会腐蚀,直接制冷效果佳。
6、开沟均匀,130μm可达±3μm。
7、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI;
8、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
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