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1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。
2、采用SC1，SC2对芯片表面有机和无机物的有效处理工艺设备，可清洗4“，5”，6“硅片。
3、可设计手动全自动运行设计，全自动运行方式采用两只机械手运行，更有效提高效率降低成本。
4、清洗能力：4~6寸圆片，25片2篮/批
5、全方面的警报提示功能，防呆设计功能。
6、各工艺槽模组化设计，腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。腐蚀槽设计底部排风，降低排风量。
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