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产品性能：
应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工艺）废气处理
多级喷淋，使易溶于水或与配置溶液反应生成沉积的物质，以达到有毒腐蚀气体的回收，达标气体的安全排放
处理能力，科研型：50SLM，生产型：100/400-1500SLM
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