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微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型品牌
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微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型 一款先进的微波等离子体化学气相沉积装置。微波输入采用下馈的方式，为腔体结构的优化提供了可能性。 该装置可以再相对大面积的衬底上进行金刚石单晶和多晶生长。 |
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