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主要技术数据
Specifications
型号            技术参数    | 三柜Three-Tier | 单柜Single-Tier | 
| 真空柜数量 Quantity Of Tier  | 3 | 1 | 
| 每个真空柜容积 Volume Of Tier  | 64L | 60L | 
| 真空室内腔尺寸 Inner Size  | 240×390×700MM | 350×350×530MM | 
| 极限真空度 Ultimate Vacuum  | 5Pa | 5Pa | 
| 外型尺寸 Overall Dimension  | 1080×810×1812MM | 953×710×1250MM | 
| 重量 Weight  | 约800Kg | 约550Kg | 
| 总功率 Power  | 0.6KW | 0.55 KW | 
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