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●滑阀式真空泵是一种油封式变容机械泵,是抽除特定密封容器中一般气体或含有少量可凝性气体(应使用气镇装置)的一种较为理想的真空获得设备,可直接获得低于1Pa的真空度,也可作为其它真空获得设备的前级泵以获得更高的真空度。由于该泵在工作过程中,滑阀与泵腔间始终保持一种无接触式的滚动运动,所以其具有耐脏、耐腐、耐用的特点。本泵的轴承采用油脂润滑,与泵油隔开,因此可以用于抽除含少量粉尘的气体。目前,该泵已广泛应用于冶金、化工、制药、纺织、半导体、单晶硅、多晶硅、石油、食品及原子能等领域。
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