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1、非接触光学测量系统。 2、应对各种材质，重复测量精度≦0.5µm。 3、高速采样，*快周期20µs。 4、强大的CPK统计功能。 5、吸附系统及高精度位移系统。 6、测量轮廓、断差、槽深、高度等。
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