扫描探针显微镜(SPM)是利用细微的探针，在样品表面扫描，进行高放大倍率观察三维形貌的显微镜总称。SPM-9600是以快速观察、操作简单而受到高度评价的新一代SPM。

SPM广泛的应用
    物理、化学、材料、医学以及生命科学领域。 SPM-9600主要包括接触模式、动态模式、相位模式、水平力模式、力调制模式、磁力模式(MFM)、电流成像模式、表面电位模式(KFM)等检测模式，而且可以轻松升级到可控气氛SPM（WET-SPM)。

分辨率：水平(XY): 0.2 nm 垂直(Z): 0.01 nm