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抛光头可实现3 zone压力控制
全系列机型可加工2-8寸及异形晶圆
纳米级别移除精度
抛光粗糙度、速率、一致性行业**
具备精准的光学EPD终点检测功能
抛光头压力可调制高达12psi
可编辑和储存至少100条以上工艺菜单
可实现盘温监控、自动冷却、自动冲洗
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