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Sharpla600 系列缺陷检测设备
Sharpla600 系列缺陷检测设备

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型号

Sharpla600 系列缺陷检测设备

品牌

盛吉盛

产地

浙江

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盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司

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Sharpla 600 是专门为检测 SiC (碳化硅) 缺陷而设计的一款国产自研检测设备。针对 SiC 衬底和 SiC 外延片各种缺陷检测。Sharpla 600 采用明场、暗场和光致发光相结合的先进光学技术,能够快速、准确地检测出各类缺陷。算法采用经典算法与人工智能算法相结合的方式,使其在数据处理和分析方面更加快速、精确。

结合 DIC、DF 以及 PL 三种光学模式进行检测,实现全面检测和测量,提高检测效率和准确性。

检测精度:0.3μm


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